化合物半導體JEL
根據用途可以選擇①伯努利式Chuck ; ②旋風真空吸盤式Chuck。
①伯努利式Chuck
1.為了回應眾多客戶的需求,JEL開發了可應用於翹曲,薄型晶圓傳輸的低價格Chuck。
2.能夠適應不同尺寸,形狀的被搬運物。
3.能夠有效地降低晶圓在吸附的過程中所承受的應力負載,大幅降低晶圓在吸附的過程可能造成的損傷。
4.伯努利原理的Chuck能夠做到薄型化。
②旋風真空吸盤式Chuck
1.使用直徑25mm,厚度2.5mm的旋風式真空吸盤。
2.能夠適應不同尺寸,形狀的被搬運物。
3.可以配套伯努利原理校準器使用。
4.旋風式真空吸盤Chuck相較於伯努利原理Chuck具有更強吸力的優點。
①伯努利式Chuck
1.為了回應眾多客戶的需求,JEL開發了可應用於翹曲,薄型晶圓傳輸的低價格Chuck。
2.能夠適應不同尺寸,形狀的被搬運物。
3.能夠有效地降低晶圓在吸附的過程中所承受的應力負載,大幅降低晶圓在吸附的過程可能造成的損傷。
4.伯努利原理的Chuck能夠做到薄型化。
②旋風真空吸盤式Chuck
1.使用直徑25mm,厚度2.5mm的旋風式真空吸盤。
2.能夠適應不同尺寸,形狀的被搬運物。
3.可以配套伯努利原理校準器使用。
4.旋風式真空吸盤Chuck相較於伯努利原理Chuck具有更強吸力的優點。