化合物半導體JEL
1. 無塵室用4軸圓柱型機械手臂
2. 高C/P值和高速傳輸特性,適用於2吋-300mm晶圓傳輸的新型雙臂機械手臂
3. 即使在負載發生或者加減速過大的情況下,也能夠避免馬達丟步現象的閉環控制方式,有效地提高了機械手臂的可
靠性
4. 馬達配備絕對值編碼器,機械手臂能夠在任何情況下知道自己的目前位置,縮短了機械手臂各動作軸尋找自身位
置原點的時間
5. 絕對值編碼器為機械式,不需要更換電池
6. 可以和舊型號的本司產品相容(安裝尺寸,性能互換),方便客戶對現有設備的升級改造
7. 高強度手臂・手臂第3關節部分可承受3kgf以下的重量(包含Wrist-Block ,Chuck,晶圓的重量)
8. 機械手臂標準臂長:100mm, 130mm, 160mm, 200mm
9. 根據設備的配置選擇底座固定方式,或法蘭(頸部)固定方式
10.可選購伯努利方式Chuck(Option)
11.電源:DC24V±10% 16A 真空:-53kPa以上
12.控制通訊方式:串列RS232C及並列I/O方式
2. 高C/P值和高速傳輸特性,適用於2吋-300mm晶圓傳輸的新型雙臂機械手臂
3. 即使在負載發生或者加減速過大的情況下,也能夠避免馬達丟步現象的閉環控制方式,有效地提高了機械手臂的可
靠性
4. 馬達配備絕對值編碼器,機械手臂能夠在任何情況下知道自己的目前位置,縮短了機械手臂各動作軸尋找自身位
置原點的時間
5. 絕對值編碼器為機械式,不需要更換電池
6. 可以和舊型號的本司產品相容(安裝尺寸,性能互換),方便客戶對現有設備的升級改造
7. 高強度手臂・手臂第3關節部分可承受3kgf以下的重量(包含Wrist-Block ,Chuck,晶圓的重量)
8. 機械手臂標準臂長:100mm, 130mm, 160mm, 200mm
9. 根據設備的配置選擇底座固定方式,或法蘭(頸部)固定方式
10.可選購伯努利方式Chuck(Option)
11.電源:DC24V±10% 16A 真空:-53kPa以上
12.控制通訊方式:串列RS232C及並列I/O方式