製程應用: 1. 適用於一般大氣、真空或者潮濕、酸鹼環境之平面傳輸機械手臂。 2. 可應用於Semi、LED wafer及FPD基板傳送作業 3. 客製化滿足客戶需求 相關連結:http://www.jel-robot.co.jp
●應用於Semiconductor、LED、FPD、Touch Panel的生產設備。 ●可整合於EFEM、Sorter及檢測系統。 ●操作精度±0.1mm,可符合平面傳輸作業高精度的要求。 ●可適用於無塵室,達到Class 2的潔淨度。 ●真空環境可耐1.33 * 10-6Pa。