Compound SemiconductorLayTec

AbsoluT

  • BRAND： LayTec
  • DESCRIPTION： Laytec温度探测头的校温工具

  • 原厂国家： 德国
    制程应用：      快速方便的sensor heard精确温度校正工具。
    相关连结：  http://www.laytec.de/absolut/

1. 无需使用传统eutetic wafer校温，使用波长950nm标准光源快速执行sensor之温度校正。
2. 大幅提高机台uptime时间以及制程参数的可靠性。
3.大幅降低因viewport差异所造成Reactor to Reactor, Run to Run, Ring to Ring 的温度读值差异，精确度可到１度Ｋ。
4.  模块化设计，体积轻巧。