原厂国家:美国 制程应用:- 化学气相沉积化学气相沉积 - 原子层沉积系统 - 有机金属化学气相沉积系统 相关连结: http://teledyne.com/ 关键字:臭氧
- 催化剂为基础的臭氧破坏 - 快速反应时间 - 环境安全的副产品 - 无耗材 - 不需维修保养 - 简易的安装.设计 - 解离能力:23% w/w or 350g/Nm³ - 臭氧解离后之臭氧浓度: < 0.01ppm