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 Laytec-外延片磊晶温度与曲率量测仪 |
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| 产品类型： |
检测设备 |
| 制程简述： |
制程说明：
1. 快速量测发散率(emission)及反射率(reflectance)
2. 选择性芯片量测及磊晶速率计算
3. 线上即时磊晶温度量测
4. 可选择 波长介于600 and 1000nm为第二干射量测波长
5.光纤讯号传送,准确快速
6. 体积轻巧
7. 方便有效的磊晶速率分析软件,便利客户作数据分析
8. 可使用于GaAs and InP磊晶之及时线上量测
9. 备有可套用于MOCVD and MBE之沟通软件
10. 可用于自旋式反应腔体最高可至200 rpm |
| 应用领域： |
线上及时GaAs, InP, GaN 磊晶温度,磊晶速率量测 |
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