原厂国家： 德国 制程应用： 椭圆仪及反射仪可使用于任何粗糙表面的光学薄膜之厚度,折射率及消光系数之量测 相关连结： http://www.sentech.de/ 关键字 ： 太阳能,量测
1.全光谱式椭圆仪 2.可于粗糙化过的晶圆(textured wafer)上量测双层抗反层 3.在粗糙表面基板上可做快速及高灵敏的椭圆参数分析 4.具有高稳定度延相器以利分析 5.步阶扫瞄式分析器 ,可做高精确的样品分析
