原厂国家：美国 制程应用： 提供非破坏性epiwafers 之电性及 旋光性mapping检测 相关连结： http://www.maxmiletech.com/default.htm
1. 节省制程时间，直接于芯片 LED 上量测旋光性及电性(Device properties) 2. 非破坏性的快速EL量测及EL mapping 3. 适用于2”~8” wafers 4. 适用波长范围 : UV/VIS or VIS/IR, or 客制化. 5. 电流量测范围 : 标准 >10e-6A, 选配 >10e-12A
