原厂国家: 德国 制程应用: 快速方便的sensor heard精确温度校正工具。 相关连结: http://www.laytec.de/absolut/
1. 无需使用传统eutetic wafer校温,使用波长950nm标准光源快速执行sensor之温度校正。 2. 大幅提高机台uptime时间以及制程参数的可靠性。 3.大幅降低因viewport差异所造成Reactor to Reactor, Run to Run, Ring to Ring 的温度读值差异,精确度可到1度K。 4. 模块化设计,体积轻巧。